あるお客様では、「大型の自動機1台だと、問題があった場合に生産ラインを停止させてしまう。小型で低価格なものを複数並列に稼動させることで、信頼性の高いプラズマ洗浄を行いたい」。また、あるお客様では、「狭いスペースしかないので、簡単におけるプラズマ洗浄装置1台があれば・・・」半導体製品分野においてプラズマ洗浄機のニーズは高く、様々な要望があふれていました。この「あったらいいのに」に応えたい。難しい課題にも対応できる、ネットワークとノウハウそして技術力を活かし、小型のプラズマ洗浄機の開発を行いました。

開発においては、既に大手メーカーと共同開発したプラズマ装置をリリースしており、技術とノウハウを活かすことが可能でした。しかし、いくら高性能な製品を開発しても、コストが伴わなければ意味がありません。製品企画の中で、カスタマイズとコストのバランス考えて提供する。この部分の調整に多くの要望を取り入れて開発を行いました。

様々な開発プロセスを経て、低価格のプラズマ洗浄装置を開発。生産ラインでの利用にも耐えられる性能はもちろん、手狭なスペースでも利用できる卓上タイプにしたことで、応用範囲の広い製品となりました。

コンパクトで低価格かつ高性能。様々な環境や用途に柔軟に対応可能な製品として、お客様の高い評価をいただきました。現在も、単独で研究開発用に使用されたり、数台で初期ロットの生産に対応するなど、私たちが考えていた用途を超えて、幅広く活用されています。

携帯電話やＰＤＡ、モバイルＰＣ。これらの基板に実装されるＩＣの動作検証は、従来、検証用に拡大された基板で行われるケースが多く、ノイズなどの面で、検査結果と実機の評価を結び付けることの正確性が問題となっていました。

「ならば、そのままのサイズで試験できれば品質をより確実できる」ヤマトマテリアルは、不可能だと思われていた実機での検証用治具のニーズに対し、「製品検査治具」を企画開発しました。

半導体生産プロセスの前工程（ウェハプロセス）と後工程（組立て、検査）が別々の工場に分かれ、ICの軽薄短小化からシリコンウェハの薄型化、生産効率の面から大口径化し、前工程で完成したシリコンウェハの工場間での輸送途中でウエハが割れてしまう問題が発生。あるお客様から問題を解決するためにウェハケース協同開発の依頼を頂き、商品化に成功しました。

輸送用のウェハケースは完成しましたが、ケースに詰め替える作業は人手。さらに高い安全性を考え詰め替え作業の自動化も検討しました。安全性が高く、省フットプリント、低コストなウエハ移載機を開発して欲しいとのご要望に応え、実験に実験を重ね商品化しました。

現在は、ウエハのIDリーダーを付加した装置やウエハのIDを読み込みホストデータにもとづきウエハを分類するウェハソータに発展。より高効率で安全な装置に進化しています。