半導体関連製品ウエハケース｜ヤマトマテリアル株式会社～プラズマ洗浄器・ICソケット等半導体・電子部品の調達～

プラズマ洗浄器・ICソケット等半導体・電子部品の調達：ヤマトマテリアル

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半導体ウエハの工場間の輸送・保管に最適な自動ウエハ移載機対応ウエハケースを低価格でご提供いたします。

→ウエハ移載機・ウエハソーターのご紹介

ウエハケース写真

特徴

外部からの衝撃からウエハを守る構造設計です。
5・6・8インチウエハーに対応しております。
独自構造により、フタが水平に開閉しますので回転等による脱着時のウエハーへのダメージが軽減されます。
クッション、導電性セパレーター等の提供も可能です。

※容器・クッション・セパレータ仕様については下記をご参照ください。

ウエハケース
品名	対象	外形	高さ	収納部有効高
YS-5	5インチ	150×150mm	68.0mm	30.0mm
YS-6M	6インチ	175×175mm	54.0mm	31.5mm
YS-8	8インチ	226×226mm	59.5mm	26.0mm
YS-8M	8インチ	226×226mm	59.5mm	31.0mm

クッション
品名	外形φ	厚み	内側クッション
YBP-5	127mm	5mm	T5×H45×W375mm
YBP-6	153mm	5mm	T5×H30×W450mm
YBP-8	200m	5mm

セパレーター
品名	外形φ	厚み
YSK-5	125mm	50μm
YSK-6	150mm	50μm
YSK-8	200mm	50μm

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