プラズマ洗浄器・ICソケット等半導体・電子部品の調達：ヤマトマテリアル

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プラズマ装置 プラズマアッシャー/ライトエッチャー 自動機　ウエハ処理用

枚葉タイプ

PE6118tsk

【写真】PE6118tsk

低価格・省スペースの枚葉シングルロードロック

  • DPモードとRIEモードの2つのプラズマモードをコントロールパネルの操作のみで切り替え可能。

【用途】

  • 酸化膜、ナイトライドエッチング
  • 各種材料の表面改質(親水化)
  • レジストのアッシング
  • 各種膜除去によるウエハ再生

型式PE6118tsk
処理方式平行平板プラズマ励起方式（DP/RIE切替可）
処理室AL製（シングルロードロック）
RF電源600W、13.56MHｚ オートチューニング
処理ガスO2 500SCCM
CF4 100SCCM
1系統増設可（オプション）
パージガスN2
処理ステップ3ステップ、10レシピ
ウエハサイズ6インチ、8インチ兼用
ウエハー搬送方式水平・旋回動作1フィンガーウエハ落しこみ
本体寸法幅：800mm
奥行：2,000mm
高さ：1,800mm

PE618tsk

【写真】PE618tsk

低価格・省スペースの枚葉大気搬送シングルチャンバー

  • DPモードとRIEモードの2つのプラズマモードをコントロールパネルの操作のみで切り替え可能。

【用途】

  • 酸化膜、ナイトライドエッチング
  • 各種材料の表面改質(親水化)
  • レジストのアッシング
  • 各種膜除去によるウエハ再生

型式PE618tsk
処理方式平行平板プラズマ励起方式（DP/RIE切替可）
処理室AL製（シングルチャンバー）
RF電源600W、13.56MHｚ オートチューニング
処理ガスO2 1000SCCM
CF4 500SCCM
1系統増設可（オプション）
パージガスN2
処理ステップ3ステップ、10レシピ
ウエハサイズ6インチ、8インチ兼用
ウエハー搬送方式垂直動作カセットエレベーター（6インチ、8インチ兼用）
水平・旋回動作1フィンガー吸着方式クリーンロボット
本体寸法幅：600mm
奥行：1,500mm
高さ：1,800mm
電源（3相200V 50/60Hz）30A

50枚バッチタイプ

PA616tsk

【写真】PA616tsk

同軸バレル構造の50枚一括バッチ式装置

  • 6インチ(オプションで4インチ又は5インチ兼用可能)のウエハに対応しフォトレジストのアッシング及び表面改質など。

【用途】

  • 各種材料の表面改質(親水化)
  • レジストのアッシング

処理ガスO2 1000SCCM
1系統増設可（オプション）
パージガスN2
処理ステップ10レシピ（3ステップ）＋10ヒーターレシピ
ウエハサイズ6インチ（オプション4インチ又は5インチと兼用）
ウエハー搬送方式垂直動作カセットエレベーター
水平・旋回動作2フィンガー吸着方式クリーンロボット
本体寸法幅：640mm
奥行：1,340mm
高さ：1,900mm

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