プラズマ洗浄器・ICソケット等半導体・電子部品の調達:ヤマトマテリアル

■ページの先頭です。 | メインの内容へ移動 | サブメニューへ移動 | メインメニューへ移動 |

HOME > エレクトロニクス > 機械製品 > プラズマ装置 > 自動機 ウエハ処理用

■メインの内容です。

プラズマ装置 プラズマアッシャー/ライトエッチャー 自動機 ウエハ処理用

枚葉タイプ

PE6118tsk

【写真】PE6118tsk

低価格・省スペースの枚葉シングルロードロック

  • DPモードとRIEモードの2つのプラズマモードをコントロールパネルの操作のみで切り替え可能。

【用途】

  • 酸化膜、ナイトライドエッチング
  • 各種材料の表面改質(親水化)
  • レジストのアッシング
  • 各種膜除去によるウエハ再生

型式PE6118tsk
処理方式平行平板プラズマ励起方式(DP/RIE切替可)
処理室AL製(シングルロードロック)
RF電源600W、13.56MHz オートチューニング
処理ガスO2 500SCCM
CF4 100SCCM
1系統増設可(オプション)
パージガスN2
処理ステップ3ステップ、10レシピ
ウエハサイズ6インチ、8インチ兼用
ウエハー搬送方式水平・旋回動作1フィンガーウエハ落しこみ
本体寸法幅:800mm
奥行:2,000mm
高さ:1,800mm

PE618tsk

【写真】PE618tsk

低価格・省スペースの枚葉大気搬送シングルチャンバー

  • DPモードとRIEモードの2つのプラズマモードをコントロールパネルの操作のみで切り替え可能。

【用途】

  • 酸化膜、ナイトライドエッチング
  • 各種材料の表面改質(親水化)
  • レジストのアッシング
  • 各種膜除去によるウエハ再生

型式PE618tsk
処理方式平行平板プラズマ励起方式(DP/RIE切替可)
処理室AL製(シングルチャンバー)
RF電源600W、13.56MHz オートチューニング
処理ガスO2 1000SCCM
CF4 500SCCM
1系統増設可(オプション)
パージガスN2
処理ステップ3ステップ、10レシピ
ウエハサイズ6インチ、8インチ兼用
ウエハー搬送方式垂直動作カセットエレベーター(6インチ、8インチ兼用)
水平・旋回動作1フィンガー吸着方式クリーンロボット
本体寸法幅:600mm
奥行:1,500mm
高さ:1,800mm
電源(3相200V 50/60Hz)30A

50枚バッチタイプ

PA616tsk

【写真】PA616tsk

同軸バレル構造の50枚一括バッチ式装置

  • 6インチ(オプションで4インチ又は5インチ兼用可能)のウエハに対応しフォトレジストのアッシング及び表面改質など。

【用途】

  • 各種材料の表面改質(親水化)
  • レジストのアッシング

処理ガスO2 1000SCCM
1系統増設可(オプション)
パージガスN2
処理ステップ10レシピ(3ステップ)+10ヒーターレシピ
ウエハサイズ6インチ(オプション4インチ又は5インチと兼用)
ウエハー搬送方式垂直動作カセットエレベーター
水平・旋回動作2フィンガー吸着方式クリーンロボット
本体寸法幅:640mm
奥行:1,340mm
高さ:1,900mm

■メインの内容が終了しました。 | メインの内容へ移動 | サブメニューへ移動 | メインメニューへ移動 |

↑ ページの先頭へ

■サブメニューです。

エレクトロニクス商品

■サブメニューが終了しました。 | メインの内容へ移動 | サブメニューへ移動 | メインメニューへ移動 |


■ページの最後です。 | メインの内容へ移動 | サブメニューへ移動 | メインメニューへ移動 |