プラズマ洗浄器・ICソケット等半導体・電子部品の調達:ヤマトマテリアル

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プラズマ装置 評価機器/関連機器

接触角測定器 エルマ販売 G-1-1000型

【写真】接触角測定器 エルマ販売 G-1-1000型

試料ステージが円盤状になっており、サンプルの形状が比較的自由にとれるようになっています。 また、液滴を滴下させるポイントを常に一定の場所に設定できますので、付着後速やかに接触角を測定することができます。 試料ステージは上下移動、左右移動、回転ができ、ひとつのサンプルで複数のポイントを測る場合に効率よく測定できます。


仕様

型式G-1-1000
測定方法小液滴付着法
計測方法2分の1 シータ法
試料台寸法円形外形150mm(有効外形130mm)
本体寸法幅:340mm
奥行:440mm
高さ:340mm
本体重量10.5kg

携帯式接触角測定器 マツボー PG-X

【写真】携帯式接触角測定器) マツボー PG-X

手のひらサイズで超小型軽量のため、取り扱いも非常に簡単


仕様

小型・軽量で現場での測定が容易(本体サイズ 幅90×高さ50×奥行200mm 接続ケーブル除く)

CCD カメラ内蔵30 画像/秒
液ポンプ内蔵0.25μl/ステップ〜
測定項目専用ソフトにて静的・動的接触角、
ペンダントドロップ法による液体表面張力・
表面自由エネルギー解析も可能
静的接触角精度±1°、測定角2°以上(低接触角モード使用時)
動的接触角精度±1°経時での接触角の変化を評価。
30画像/初期1秒、測定角10°以上
データ解析ソフトWin98/2000/XP/Vista 対応
電源USB接続
マルチ言語・日本語対応ソフト

携帯式デジタルマイクロスコープ マツボー DPM_std

【写真】携帯式デジタルマイクロスコープ マツボー DPM_std

DPM.stdは、最大1600x1200ピクセルの高性能カメラを搭載し、最大200倍の拡大画像をPC上にてライブ撮影、画像保存できる、携帯式のデジタルマイクロスコープです。
小型で軽量、スケール機能<長さ・面積・角度・円周・不定形線長・経路線長>が付属しており、研究所などはもちろん、現場での品質管理、出張先での立会い検査など幅広いアプリケーションに対応します。


【写真】携帯式デジタルマイクロスコープ DPM_std マツボー
  • 最大192万画素の高解像度
  • 最大約200倍の高倍率
    (ピント…10X、50X、200X 画角サイズ75×57mm/ 6.2×4.7mm/2.1×1.6mm)
  • サイズ測定機能付属 (長さ・面積・角度・円周・半径・不定形線長・経路線長)
  • USBにてPC簡単接続
  • マルチ言語・日本語対応ソフト
  • 外部データの取込み可能
  • カメラ設定…明るさ・コントラスト・ガンマ・露光・シャープネス
  • カメラスタンド付属

段差・表面あらさ・形状測定装置 KLA-Tencor P-16

【写真】段差・表面あらさ・形状測定装置 KLA-Tencor P-16

プラズマ処理後の表面粗さは接着・膜付け強度向上の一つの指針となり得ます。

本装置は半導体ウェーハ・チップのパターンや段差・絶縁膜粗さ測定等で使用されている世界の標準機です。

接触式ですのでより正確な数値を測定する事が出来ます。


仕様

測定方式触針式(ステージ駆動、センサ位置固定)
サンプルサイズ最大 φ200mm (全面アクセス可能)
走査距離最大80mm(200mmオプション)
測定レンジ±6.5μm/±32.5μm/300μm(1mmオプション)
走査速度1μm/秒〜25mm/秒
段差測定再現性7.5Å(1δ)/±6.5μm

関連機器 <<モールド樹脂用 キュア オーブン>>

【写真】関連機器 <<モールド樹脂用 キュア オーブン>> 製作例
型式2チャンバータイプ4チャンバータイプ
温度制御強制熱風循環方式強制熱風循環方式
温度範囲40〜260℃40〜260℃
温度分布±3℃(指定有負荷)±3℃(指定有負荷)
内寸法幅:460mm
奥行:650mm
高さ:500mm
<上段>
 幅:400mm
 奥行:550mm
 高さ:500mm
<下段>
 幅:360mm
 奥行:530mm
 高さ:460mm
温度上昇50℃→175℃/30分50℃→175℃/30分
温度下降175℃→50℃/30分175℃→50℃/30

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