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プラズマ洗浄器・ICソケット等半導体・電子部品の調達:ヤマトマテリアル
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試料ステージが円盤状になっており、サンプルの形状が比較的自由にとれるようになっています。 また、液滴を滴下させるポイントを常に一定の場所に設定できますので、付着後速やかに接触角を測定することができます。 試料ステージは上下移動、左右移動、回転ができ、ひとつのサンプルで複数のポイントを測る場合に効率よく測定できます。
| 型式 | G-1-1000 |
|---|---|
| 測定方法 | 小液滴付着法 |
| 計測方法 | 2分の1 シータ法 |
| 試料台寸法 | 円形外形150mm(有効外形130mm) |
| 本体寸法 | 幅:340mm 奥行:440mm 高さ:340mm |
| 本体重量 | 10.5kg |
手のひらサイズで超小型軽量のため、取り扱いも非常に簡単

小型・軽量で現場での測定が容易(本体サイズ 幅90×高さ50×奥行200mm 接続ケーブル除く)
| CCD カメラ内蔵 | 30 画像/秒 |
|---|---|
| 液ポンプ内蔵 | 0.25μl/ステップ〜 |
| 測定項目 | 専用ソフトにて静的・動的接触角、 ペンダントドロップ法による液体表面張力・ 表面自由エネルギー解析も可能 |
| 静的接触角 | 精度±1°、測定角2°以上(低接触角モード使用時) |
| 動的接触角 | 精度±1°経時での接触角の変化を評価。 30画像/初期1秒、測定角10°以上 |
| データ解析ソフト | Win98/2000/XP/Vista 対応 |
| 電源 | USB接続 |
| マルチ言語・日本語対応ソフト | |
DPM.stdは、最大1600x1200ピクセルの高性能カメラを搭載し、最大200倍の拡大画像をPC上にてライブ撮影、画像保存できる、携帯式のデジタルマイクロスコープです。
小型で軽量、スケール機能<長さ・面積・角度・円周・不定形線長・経路線長>が付属しており、研究所などはもちろん、現場での品質管理、出張先での立会い検査など幅広いアプリケーションに対応します。

プラズマ処理後の表面粗さは接着・膜付け強度向上の一つの指針となり得ます。
本装置は半導体ウェーハ・チップのパターンや段差・絶縁膜粗さ測定等で使用されている世界の標準機です。
接触式ですのでより正確な数値を測定する事が出来ます。
| 測定方式 | 触針式(ステージ駆動、センサ位置固定) |
|---|---|
| サンプルサイズ | 最大 φ200mm (全面アクセス可能) |
| 走査距離 | 最大80mm(200mmオプション) |
| 測定レンジ | ±6.5μm/±32.5μm/300μm(1mmオプション) |
| 走査速度 | 1μm/秒〜25mm/秒 |
| 段差測定再現性 | 7.5Å(1δ)/±6.5μm |
| 型式 | 2チャンバータイプ | 4チャンバータイプ |
|---|---|---|
| 温度制御 | 強制熱風循環方式 | 強制熱風循環方式 |
| 温度範囲 | 40〜260℃ | 40〜260℃ |
| 温度分布 | ±3℃(指定有負荷) | ±3℃(指定有負荷) |
| 内寸法 | 幅:460mm 奥行:650mm 高さ:500mm | <上段> 幅:400mm 奥行:550mm 高さ:500mm <下段> 幅:360mm 奥行:530mm 高さ:460mm |
| 温度上昇 | 50℃→175℃/30分 | 50℃→175℃/30分 |
| 温度下降 | 175℃→50℃/30分 | 175℃→50℃/30 |
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