プラズマ洗浄器・ICソケット等半導体・電子部品の調達:ヤマトマテリアル

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プラズマ装置 プラズマドライクリーナー(プラズマ洗浄) 大気圧(常圧)処理装置

YAP-500

【写真】YAP-500

面照射で高い処理効率を実現

【用途】

  • 各種材料の接着性向上、表面改質
    ロール to ロール高機能フィルム
    (有機EL、電子ペーパー)
    樹脂、金属、フィルムディスプレイ等
  • アッシング処理(レジスト剥離)
  • 濡れ性改善

型式YAP-500
照射範囲50〜600mm
高周波出力600W
キャリアガスヘリウム
処理ガス酸素、アルゴン等
外形寸法幅650×奥行600×高さ1400mm

特長1:ヤマト独自のL型屈曲プラズマ発生方式(特許出願中)により、処理効率が大幅に向上

特長2:ヘリウムをキャリアガスとし、大気環境下で安定したグロー放電を実現

特長3:NOx(窒素化合物)の発生やワークへのダメージを抑えた環境にやさしいプラズマ処理を実現

装置構成は一体型とセパレート型の2タイプをご用意。お客様の設置環境に合わせてお選びいただけます

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