プラズマ洗浄器・ICソケット等半導体・電子部品の調達:ヤマトマテリアル

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V1000XS

【写真】V1000XS

チャンバー容積最大

  • 高周波出力:MAX1000W&1500Wも可

【用途】

  • 半導体、電子部品の組立前処理
    (LSI、LED、MEMS製品、センサー等)
  • 各種材料の接着性向上、表面改質
    (樹脂、ガラス、金属表面)
  • レジストの剥離、ウエット処理後の残渣除去
  • 金型、機械部品等の精密部品洗浄
  • メッキ前処理
  • フッ素樹脂を含む樹脂表面の改質

型式V1000XS
プラズマモードRIE・DP
高周波出力(Max)1000W & 1500W
ステージ寸法幅400×奥行375mm
チャンバー寸法 内寸 幅600×奥行550×高さ440mm
処理ガス2系統(酸素、アルゴン)
反応ガス流量制御マスフローコントローラ
真空ポンプロータリー真空ポンプ(約1400L/分)
ガス導入口反応ガス2個、パージ1個
外形寸法幅900×奥行1100×高さ2040mm

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