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プラズマ洗浄器・ICソケット等半導体・電子部品の調達:ヤマトマテリアル
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【用途】
| 型式 | V1000XS |
|---|---|
| プラズマモード | RIE・DP |
| 高周波出力(Max) | 1000W & 1500W |
| ステージ寸法 | 幅400×奥行375mm |
| チャンバー寸法 | 内寸 幅600×奥行550×高さ440mm |
| 処理ガス | 2系統(酸素、アルゴン) |
| 反応ガス流量制御 | マスフローコントローラ |
| 真空ポンプ | ロータリー真空ポンプ(約1400L/分) |
| ガス導入口 | 反応ガス2個、パージ1個 |
| 外形寸法 | 幅900×奥行1100×高さ2040mm |
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