プラズマ洗浄器・ICソケット等半導体・電子部品の調達：ヤマトマテリアル

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PiPi(ピピ)

【写真】pipi

最も小型、安価なプラズマ処理装置です。

  • 単相 AC100Vにて使いやすく、実験・研究・開発にも適しております。

【用途】

  • 各種材料の接着性向上、表面改質
    (樹脂、ガラス、金属表面)
  • 半導体、電子部品の組み立て前処理
    (LSI、LED、MEMS製品、センサー等)
  • 金型、機械部品等の精密部品洗浄
  • メッキ前処理
  • フッ素樹脂を含む樹脂表面の改質

型式PiPi
プラズマモードRIE
高周波出力（Max）200W
ステージ寸法幅130×奥行130mm
チャンバー寸法幅130×奥行230×高さ100mm
処理ガス１系統（アルゴン）
反応ガス流量制御フローメータ
ガス導入口反応ガス１個、パージ１個
外形寸法幅438×奥行520×高さ565mm
真空ポンプ(別売品)ロータリー真空ポンプ（約135L/分）

PDC210シリーズ

【写真】PDC210

卓上型プラズマ装置のパイオニア

  • 半導体組立用、各種材料の表面改質にて150台以上の実績がございます。
  • DPモード(等方性)切替も可能です。(オプション)

【用途】

  • 半導体、電子部品の組立前処理
    (LSI、LED、MEMS製品、センサー等)
  • 各種材料の接着性向上、表面改質
    (樹脂、ガラス、金属表面)
  • レジストの剥離、ウエット処理後の残渣除去
  • 金型、機械部品等の精密部品洗浄
  • メッキ前処理
  • フッ素樹脂を含む樹脂表面の改質

型式PDC200PDC210
プラズマモードRIE（DPオプション）
高周波出力（Max）300W500W
ステージ寸法幅250×奥行170mm
チャンバー寸法幅400×奥行250×高さ170mm
処理ガス２系統（酸素、アルゴン）
反応ガス流量制御フローメータマスフローコントローラ
真空ポンプ別途ご用意くださいロータリー真空ポンプ（約345L/分）
ガス導入口反応ガス２個、パージ１個
外形寸法幅540×奥行600×高さ600mm

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