プラズマ洗浄器・ICソケット等半導体・電子部品の調達：ヤマトマテリアル

■ページの先頭です。 | メインの内容へ移動 | サブメニューへ移動 | メインメニューへ移動 |

HOME > エレクトロニクス > 装置 > ウエハ移載機・ウエハソーター

■メインの内容です。

機械製品 ウエハ移載機・ウエハソーター

ウエハ移載機(ウエハパッキング装置)

【写真】ウエハ移載機(ウエハパッキング装置) KWP-8シリーズ

特徴

パッキング/アンパッキング、両方の作業が可能
ID文字読取り、ロット管理、データ記録が出来る
上位ホストとの通信機能、IDにより分類、作業データ、ロットデータの作成
充分な安全機能
停電時１サイクル続行機能、ウエハ/キャリア検出、ウエハ斜め差し・飛び出し検知など、豊富な安全機能

機種名KWP-8シリーズ
ウエハサイズ8インチ
移載速度約40秒／ウエハ（ウエハ出荷ケース→カセット）
約27秒／ウエハ（カセット→ウエハ出荷ケース搬送）
カセット1ヶ (25枚入)
ウエハ容器（出荷用）2ヶ
セパレータストッカー2ヶ
環境条件温度 25±5℃、 湿度 30〜70％
電源単層 AC100V±10％ 50Hz 5A、 接地付(消費電力　600W)
停電保持時間 充電時 約4分(装置としては１サイクル停止)
真空源−500ｍｍHg
外形寸法1150(W)×1300(D)×1600(シグナルタワー除く)

ウエハソーター(ウエハ分類機)

ウエハソーター(ウエハ分類機) KWS-8シリーズ写真

特徴

パッキング/アンパッキング、両方の作業が可能
ID文字読取り、ロット管理、データ記録が出来る
上位ホストとの通信機能、IDにより分類、作業データ、ロットデータの作成
充分な安全機能
停電時１サイクル続行機能、ウエハ/キャリア検出、ウエハ斜めさし・飛び出し検知など、豊富な安全機能

機種名KWS-8シリーズ
ウエハサイズ8インチ
移載速度約27秒／ウエハ
※キャリア１→アライナ→キャリア１への搬送の場合
ステージ2基 (ローダ用１、アンローダ用１)
キャリアウエハーカセット
電源AC1000V±10％　50／60Hz　20A
真空源−80kpa以下
外形寸法1100(W)×950(D)×1800(H)

■メインの内容が終了しました。 | メインの内容へ移動 | サブメニューへ移動 | メインメニューへ移動 |

↑ ページの先頭へ

■サブメニューです。

エレクトロニクス商品

事例紹介

■サブメニューが終了しました。 | メインの内容へ移動 | サブメニューへ移動 | メインメニューへ移動 |


■ページの最後です。 | メインの内容へ移動 | サブメニューへ移動 | メインメニューへ移動 |