ヤマトマテリアル

ELECTRONICSプラズマインライン

ユニットタイプ

  • YSPシリーズ
    内装
    YSPシリーズ 内装 YSPシリーズ 内装

    YSP600U / YSP2KU

    搬送系への接続が容易なユニットタイプ

    用途

    • 各種基板のクリーニング
    • エレクトロニクス部品、材料の表面改質
    • 有機物、自然酸化膜除去

    特徴
    • スリムな省スペース設計
    • 小型チャンバーの採用によりタクトが早く効果も高い
    • 将来のインライン化が容易
    • タッチパネル上でのモード切替が可能(オプション)
    • 冷却ステージ付き(YSP2KU)
    型式 YSP600U YSP2KU
    プラズマモード RIE(DPオプション)
    高周波出力(Max) 600W 2,000W
    ステージ寸法 幅300×奥行300mm 幅600×奥行600mm
    反応ガス 2系統(酸素、アルゴン)
    反応ガス流量制御 マスフローコントローラ
    ガス導入口 反応ガス2個、パージ1個、エアー1個

インラインプラズマ装置

  • YSP63FA

    YSP63FA

    搬送系を含めたカスタム対応を致します。


    • マガジン to マガジン プラズマ自動機
    • フィルム基板の搬送も可能
    • 搬送スピードのHi-Low調節可能
    • ネットワークによる遠隔操作が可能(オプション)

    型式 YSP63FA
    プラズマモード RIE(DPモード オプション)
    高周波出力(Max) 600W
    ステージ寸法 幅385×奥行362mm
    チャンバー寸法 幅395×奥行378×高さ45mm(内寸)
    反応ガス 2系統(酸素、アルゴン)
    反応ガス流量制御 マスフローコントローラ
    真空ポンプ ロータリー真空ポンプ(約500L/分)
    ガス導入口 反応ガス2個、パージ1個、エアー1個
    外形寸法 幅1,860×奥行1,100×高さ1,800mm
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