ヤマトマテリアル

ELECTRONICSプラズマ自動機Wafer用

  • YSPシリーズ
    内装
    YSPシリーズ 内装 YSPシリーズ 内装

    YSP68W / YSP650W / YSP68WL

    枚葉式、50枚バッチ式、枚葉式ロードロックタイプの3シリーズをベースにカスタム対応を致します。

    用途

    • フォトレジストのアッシング、表面改質
    • ポリイミド系樹脂のエッチング

    特徴
    • 6インチと8インチのウエハに対応し、低価格・省スペースを実現(4インチ、5インチはオプション)
    • コントロールパネル上の操作のみで、DPモードとRIEモードの2つのプラズマ方式を切り替え可能(YSP68W、YSP68WL)
    • 基本的なプラットフォームを利用し、様々な要求に応じた対応可能
  • 型式 枚葉式タイプ 50枚バッチタイプ 枚葉式ロードロックタイプ
    処理方式 平行平板プラズマ励起方式(DP/RIE切替可) 同軸バレル型 平行平板プラズマ励起方式(DP/RIE切替可)
    処理室 AL製(シングルロードロック) 円筒・縦型・石英チャンバー AL製(シングルロードロック)
    RF電源 600W 13.56MHz オートチューニング 600W 13.56MHz オートチューニング 600W 13.56MHz オートチューニング
    処理ガス O2 1,000SCCM O2 1,000SCCM O2 1,000SCCM
    CF4 500SCCM CF4 500SCCM
    1系統増設可(オプション) 1系統増設可(オプション) 1系統増設可(オプション)
    パージガス N2 N2 N2
    処理ステップ 3ステップ、10レシピ 10レシピ(3ステップ)+10ヒーターレシピ 3ステップ、10レシピ
    ウエハサイズ 6インチ、8インチ兼用 6インチ(オプション4インチ、5インチ、8インチ) 6インチ、8インチ兼用
    ウエハ搬送方式 水平・旋回動作1フィンガーウエハ落しこみ 垂直動作カセットエレベーター 水平・旋回動作1フィンガーウエハ落しこみ
    水平・旋回動作2フィンガー
    吸着方式クリーンロボット
    本体寸法 幅:600mm 幅:640mm 幅:880mm
    奥行:1,650mm 奥行:1,340mm 奥行:2,200mm
    高さ:1,850mm 高さ:1,900mm 高さ:1,900mm
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