ヤマトマテリアル

ELECTRONICSプラズマ中型タイプ

  • PDC510

    PDC510

    • RIE・DP切替により2モードが使用可能
    • PDC210シリーズよりもステージサイズを広げ、様々なワークに対応

    型式 PDC510
    プラズマモード RIE・DP
    高周波出力(Max) 500W
    ステージ寸法 幅410×奥行210mm
    チャンバー寸法 幅500×奥行290×高さ200mm
    反応ガス 2系統(酸素、アルゴン)
    反応ガス流量制御 マスフローコントローラ
    真空ポンプ ロータリー真空ポンプ(約500L/分)
    ガス導入口 反応ガス2個、パージ1個
    外形寸法 幅700×奥行700×高さ700mm
  • V1000

    V1000

    • RIE・DP切替により2モードが使用可能
    • 反応ガスはプラズマの均一性を上げるため、サイド噴出し方式

    型式 V1000
    プラズマモード RIE・DP
    高周波出力(Max) 1,000W
    ステージ寸法 幅280×奥行280mm
    チャンバー寸法 内寸 幅400×奥行400×高さ384mm
    反応ガス 2系統(酸素、アルゴン)
    反応ガス流量制御 マスフローコントローラ
    真空ポンプ ロータリー真空ポンプ(約670L/分)
    ガス導入口 反応ガス2個、パージ1個
    外形寸法 幅600×奥行800×高さ1,600mm
ヤマトマテリアル
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