ヤマトマテリアル

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ELECTRONICS プラズマ装置(プラズマクリーナー)

ドライプロセスによる表面改質の一手段としてプラズマ装置での処理はますます注目されています。
電子分野ではウエハのレジスト・残渣などの除去、ボンディング・モールディング・フィル材塗布の信頼性向上、
あらゆる物作りでの接着性・塗膜性・親水性の改善、バイオ・ライフサイエンスでの加工などに利用されています。
私どもは用途に応じて、減圧プラズマ装置だけではなく、大気圧プラズマ装置でのプラズマ処理のご提案に加えて、
対象物の性格に合わせたマテリアルハンドリング(自動搬送系)も含めた構想提案から製造までをお手伝いしております。

小型プラズマ装置

中型プラズマ装置

大気圧(常圧型)装置

チューブ・容器内壁プラズマ処理

プラズマクリーナー各種自動機