ヤマトマテリアル

ELECTRONICSプラズマ小型タイプ

  • PIPI

    PIPI

    • スペースを取らず、研究・開発用途に最適
    • 使いやすく簡単に処理ができる低コスト装置

    型式 PiPi
    プラズマモード RIE
    高周波出力(Max) 200W
    ステージ寸法 幅130×奥行130mm
    反応ガス アルゴン(1系統)
    反応ガス流量計 フローメータ
    真空ポンプ 別途ご用意ください
    パージガス N2又はドライエアー
    外形寸法 幅438×奥行520×高さ565mm
  • PDC210シリーズ

    PDC210シリーズ

    • 卓上型、低コスト、高性能タイプ
    • 実験用から本格量産まで使用可能

    型式 PDC200 PDC210
    プラズマモード RIE(DPオプション)
    高周波出力(Max) 300W 500W
    ステージ寸法 幅250×奥行170mm
    チャンバー寸法 幅400×奥行250×高さ170mm
    反応ガス 2系統(酸素、アルゴン)
    反応ガス流量制御 フローメータ マスフローコントローラ
    真空ポンプ 別途ご用意ください ロータリー真空ポンプ(約345L/分)
    ガス導入口 反応ガス2個、パージ1個
    外形寸法 幅438×奥行520×高さ656mm
  • PR510(バレル型)

    PR510(バレル型)

    • 低温プラズマバレル型の定番
    • オートマッチング機構の標準装備をはじめ、タッチパネルの採用により操作性、安全性向上

    型式 PR510
    プラズマモード DP
    高周波出力(Max) 500W
    ステージ寸法 -
    チャンバー寸法 径215φ×L305mm
    反応ガス 2系統(酸素、アルゴン)
    反応ガス流量制御 マスフローコントローラ
    真空ポンプ 別途ご用意ください
    ガス導入口 反応ガス2個、パージ1個
    外形寸法 幅438×奥行520×高さ760mm
  • PB500(バレル型)

    PB500(バレル型)

    • バレル型プラズマ処理装置
    • ウエハ・小型基板のアッシング、表面改質に最適
      ドライポンプを標準装備

    型式 PB500
    プラズマモード DP
    電極構造 バレル型
    高周波出力(Max) 500W
    発振周波数 13.56MHZ水晶発振器
    ステージ寸法 -
    チャンバー寸法 径300φ×長さ400mm
    チャンバー材質 石英
    反応ガス 2系統(酸素、Cf4)
    反応ガス流量制御 マスフローコントローラ
    真空ポンプ ドライポンプ
    ガス導入口 反応ガス2個、パージ1個、エアー1個
    外形寸法 幅600×奥行900×高さ1,400mm
ヤマトマテリアル
LINE UP
商品ラインアップ
VIEW MORE