ヤマトマテリアル

ELECTRONICSプラズマ大気圧

  • 大気圧(常圧)プラズマ

    大気圧(常圧)プラズマ

    減圧設備が不要なので、ユーティリティーがガス及び電源のみとなり省スペース化を計れる他、減圧槽を必要としない為面積の広い基板等の処理に対応出来、プロセスへ応用する場合の大きな利点となります。

    ヘッド部の販売、またカスタムも可能

    処理タイプ 平面処理 スポット処理
    放電写真 平面処理 スポット処理
    処理面 片面又は両面
    照射面積 50~500mm φ5mm
    搬送部 搬送部 搬送機付きまたは電極ヘッドのみ
    稼動速度 1~100mm/sec(電極部のヘッド又ワークの移動距離速度)
    反応ガス 系統数 3系統
    種類 ヘリウム、酸素など アルゴン、窒素など
    流量 2~10L/min
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