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高分解能オシロスコープ HDO4000シリーズ
高速デバイスやパワー半導体が求める常時12ビットの垂直分解能を実現。12.1インチの大型タッチパネルディスプレイを採用、スタイリッシュで省スペースなデザインになっています。デモ/Webプレゼンテーション承ります。
デジタルマイクロスコープ ハイロックス
・レンズメーカーが作る画像処理に頼らないレンズ性能で鮮明な画像を映すスコープ・低倍率での高精度計測が可能・電動ズームでレンズ操作が簡単・PCと本体を分離させたコンセプト・オプションのロータリーヘッドを用いることで被写体を傾けずに立体観察が可能
薄膜応力測定装置 FLXシリーズ
・レーザーでスピーディーかつ非接触でウエハなど測定対象の応力や反りを測定・-65°Cから500°Cまでの温度環境で測定が可能・WindowsのOSを用いたソフトウエアで簡単操作・3インチウエハサイズ(70mm□)から300mmサポートガラス付ウエハサイズまで対応
微細穴三次元形状測定機 FPシリーズ
現在注目されている新技術TSV/TGVで使用される微細穴の内径や形状を製品をカットすることなく精密に測定する装置です。
A F M (原子間力顕微鏡 )
AFM 原子間力顕微鏡。AFMパークシステムズ。研究用・生産ライン用・バイオ、ケミカル用に幅広くラインナップ。完全非接触。マイクロレンズアレイ計測。生産ライン用ウエハ搬送機構。自動欠陥検査と表面粗さ計測用最先端AFM。自動欠陥検査機能を備えた原子間力プロファイラー。