中型プラズマ装置

プラズマクリーナー　PDC510

中型プラズマ装置　プラズマクリーナーPDC510。平行平板電極構造の中型プラズマクリーニングです。異方性、等方性が利用できる低温プラズマ装置です。標準でモード切替器付きです。酸素ガス・アルゴンガス2系統のマスフローコントローラーを搭載。小径ウエハのレジストのアッシング。金属酸化膜のエッチング。ワイヤーボンディング前処理。濡れ性改善、接着性の改善などに最適です。

プラズマクリーナー　V1000

チャンバーサイズ280×280ｍｍの中型プラズマ装置。
サブストレート基板、リードフレームの表面洗浄、アンダーフィル材の濡れ性改善、フォトレジストのアッシングなどに最適。