プラズマクリーナー PDC510

概要

中型プラズマ装置 プラズマクリーナーPDC510。平行平板電極構造の中型プラズマクリーニングです。異方性、等方性が利用できる低温プラズマ装置です。標準でモード切替器付きです。酸素ガス・アルゴンガス2系統のマスフローコントローラーを搭載。小径ウエハのレジストのアッシング。金属酸化膜のエッチング。ワイヤーボンディング前処理。濡れ性改善、接着性の改善などに最適です。

本装置の特徴

・RIE・DP切替により2モードが使用可能
・PDC210シリーズよりもステージサイズを広げ、様々なワークに対応
・標準油回転ポンプ付 (ドライポンプはオプション)

用途・分野

・サブストレート基板、リードフレームの表面洗浄
・サブストレート基板と封止樹脂との密着性向上
・アンダーフィル材の濡れ性改善
・フォトレジストのアッシング
・金属酸化物のエッチング
・接着効果の改善
・樹脂/フィルムの表面改質
・濡れ性の改善など

スペック表

型 式 PDC510
プラズマモード RIE・DP
高周波出力(Max) 500W
ステージ寸法 幅400×奥行200mm
チャンバー寸法 幅500×奥行300×高さ200mm
反応ガス 2系統(酸素、アルゴン)
反応ガス流量制御 マスフローコントローラ

Q&A よくあるご質問

Q.プラズマ装置を探しています。
A.プラズマクリーニング装置からエッチング装置やアッシング装置まで幅広く扱っております。WEBに掲載している製品はあくまでも一例です。ご要望の対象ワークや用途に合わせて、カスタマイズいたしますのでお気軽にご相談ください。
Q.プラズマ装置を購入したいのですが、代理店はありますか?<
A.特にございません。ご指定があれば柔軟に対応いたします。
Q.プラズマ装置はいつから販売してますか?
A.1998年から半導体組立工程の用途として販売しております。
Q.デモは行えますか?
A.はい。随時受け付けておりますので、お気軽にご相談ください。
Q.デモ機はどの様なものがありますか?
A.平行平板電極 ステージサイズ 130×130(PIPI)、250×170(PDC210)、410×210(PDC510)、300×300、600×600、φ200㎜石英チャンバー 6インチ、8インチウエハ用(縦型石英チャンバー)をご準備しております。
Q.デモの場所はどこですか?
A.装置により異なります。東京都内、東京都青梅市、大気圧は南アルプス市か新大阪です。
Q.デモ機はどの様なものがありますか?
A.平行平板電極 ステージサイズ 130×130(PIPI)、250×170(PDC210)、410×210(PDC510)、300×300、600×600、φ200㎜石英チャンバー 6インチ、8インチウエハ用(縦型石英チャンバー)をご準備しております。
Q.デモ機の高周波出力は何ワットまでですか?<
A.チャンバーサイズ別に異なりますので、お問い合わせください。
Q.プロセスガスは何を持っていますか?<
A.アルゴン、酸素、CF4、アルゴン水素をご用意しております。
Q.カタログに載っている装置だけですか?<
A.お客様のご要望に合わせたカスタム装置も得意としております。
Q.プラズマの処理効果を確認する手段はありますか?<
A.濡れ性を確認する接触角計と膜厚計をご用意しております。
Q.設備導入時に高周波利用申請の届け出は必要でしょうか?<
A.申請は必要です。申請書類をご準備いたしますので、管轄の総合通信局へご提出ください。
Q.自動機は掲載されているだけですか?<
A.標準機として掲載しております。ご希望に合わせた数々のカスタム装置を設計製造致します。
Q.チャンバーを温調したいのですが、可能ですか?<
A.ラバーヒーターでの温調やチラーによるステージ温調も可能です。
Q.ウエハアッシング装置を更新したいのですが?<
A.手動タイプの横型の石英チャンバー同軸タイプと縦型石英チャンバーの自動機がございます。標準は6、8インチ用です。
Q.枚葉式の装置は扱っていますか?<
A.6、8、12インチ用が標準になります。大気搬送ロボット、ロードロック方式をお選びいただけます。レジストのアッシングやポリイミドのスカム処理などでご利用いただいております。
Q.打合せは可能ですか?<
A.可能です。東日本は本社(東京)、中京、関西、四国、中国地区は大阪支店、九州地区は九州営業所(福岡)からお伺いさせて頂きます。