商品ラインアップLINEUP

プラズマ装置とは

プラズマ装置メーカーとして、30年を超えるプラズマ装置の販売実績を持つヤマトマテリルが、
半導体製造で活躍する真空プラズマ装置・大気圧プラズマ装置それぞれのプラズマ発生原理や違いに加え、
ドライクリーナー、エッチング、アッシングなど処理目的に応じたプラズマ装置選定ポイントを解説します。
当社の豊富なプラズマ装置ラインナップも紹介しています。

簡易クリーン環境　クリーンブース

作業環境を局所的にクリーン化するクリーンブースです。
安価で簡易的なクリーンルームです。
・フレームはＳＵＳ製と安価なアルミ製
・クリーン度クラス１００～１０,０００
・ご要望に合わせたカスタムで設計提案
・規格品の簡易クリーンブースもラインナップ

無風恒温槽

・卓上型で最大－５５℃〜２５０℃まで温度制御が可能

・風の循環を無くす事で高精度な温度分布を実現

・ペルチェ素子による温調のためサンプルの熱を
　吸収しながら温調が可能

恒温器・恒温恒湿器・クリーンオーブン

・最高温度５００℃から最低温度－４０℃のモデル
　まで、幅広いモデルをラインナップ（全３５機種）

・低酸素雰囲気での試験が可能なイナートオーブン、
　クラス１００レベルのクリーン環境での可能な
　クリーンオーブンも標準品としてラインナップ

・標準品のオーブンに制御システムを組み込むことで
　安価にモニター―バーンイン装置を提供

高分解能オシロスコープ　HDO4000シリーズ

高速デバイスやパワー半導体が求める常時12ビットの垂直分解能を実現。１２．１インチの大型タッチパネルディスプレイを採用、スタイリッシュで省スペースなデザインになっています。
デモ／Ｗｅｂプレゼンテーション承ります。

クリーンルーム用エアコンディショナー（ＦＦＵ）

・天井面とのクリアランスがなくてもダクト接続が容易な省スペース設計です
・吹出し部の拡散パンチング板で広範囲に吹出し,迅速なクリーン化が可能

ＦＦＵ(ファンフィルターユニット)

・電源を供給するだけの簡単仕様
・樹脂製とＳＵＳ製をラインナップ
　樹脂製は軽量・ＳＵＳ製はＤＣモーターにより省電力
・RoHS指令対応品

チップ移載機 （チップソーター）

リングからチップトレイやリングからリングなど、様々なチップのソーティングが可能なコンパクトなチップ移載装置です。良品のみを移載するランク分けや反転収納等もオプションで対応可能。予算と希望タクトから最適な移載機を提案致します。

デジタルマイクロスコープ ハイロックス

・レンズメーカーが作る画像処理に頼らないレンズ性能で鮮明な画像を映すスコープ
・低倍率での高精度計測が可能
・電動ズームでレンズ操作が簡単
・ＰＣと本体を分離させたコンセプト
・オプションのロータリーヘッドを用いることで被写体を傾けずに立体観察が可能

薄膜応力測定装置 FLXシリーズ

・レーザーでスピーディーかつ非接触でウエハなど測定対象の応力や反りを測定
・－６５°Cから５００°Cまでの温度環境で測定が可能
・WindowsのOSを用いたソフトウエアで簡単操作
・３インチウエハサイズ(70mm□)から300mmサポートガラス付ウエハサイズまで対応

微細穴三次元形状測定機 FPシリーズ

現在注目されている新技術ＴＳＶ／ＴＧＶで使用される微細穴の内径や形状を製品をカットすることなく精密に測定する装置です。

A F M (原子間力顕微鏡 )

AFM　原子間力顕微鏡。AFMパークシステムズ。研究用・生産ライン用・バイオ、ケミカル用に幅広くラインナップ。完全非接触。マイクロレンズアレイ計測。生産ライン用ウエハ搬送機構。自動欠陥検査と表面粗さ計測用最先端AFM。自動欠陥検査機能を備えた原子間力プロファイラー。

ファインピッチはんだバンプ形成用印刷機 『TD-4420』＆ バンピング受託

圧入方式だからできる多彩な印刷形態を実現したはんだペースト印刷機です。
安定した高品質印刷を実現することだけを追求した特徴的な印刷機です。
独自開発の圧入型スキージユニットを搭載し、高密度パターンから大口径厚膜印刷まで様々な印刷ニーズに対応可能です。
はんだバンピングの受託も賜っております。

12インチウエハ（300ｍｍウエハ）用プラズマ装置

枚葉式12インチウエハ（300mmウエハ）用のライトエッチング/アッシング用装置です。
裏面研削後の薄化されたウエハやタイコウ(TAIKO)ウエハの安定した搬送が可能です。
・ロードポート　2機。
・大気搬送シングルアーム（エッジグリップ）でFOUPとプラズマ処理室との安定した搬送。
・ステージ温調用チラー、5,000L／min　ドライポンプを付帯。
プラズマモード（RIE/DP)や反応ガス種、搬送方式（大気搬送／ロードロック）など、ご要望に合わせて個別に設計対応を致します。

プラズマクリーナー　プラズマ自動機YSP63FA

プラズマクリーナーにローダー・アンローダーを付加したプラズマ自動機。マガジンtoマガジン式プラズマクリーナー。BGA有機基板、リードフレームとボンディングワイヤーとの接合性の向上、BGAアンダーフィル材の濡れ性向上、封止樹脂材と有機基板との接着性の向上。多種の搬送方式に実績がございます。

プラズマアッシング装置 YSP650W（ウエハ50枚一括処理）

同軸型バレルアッシャー、等方性プラズマ装置です。
50枚のウエハを一括処理可能な同軸縦型プラズマアッシャー装置。永年ご使用になったアッシャー装置の更新にチャンバーを搭載。
ウエハを両面クリーニングしたい用途にもご利用いただけます。デモ機を保有しております。
ウエハのレジスト剥離、メッキ前洗浄。デスカム処理などにご検討ください。