恒温器・恒温恒湿器・クリーンオーブン

概要

・最高温度５００℃から最低温度－４０℃のモデル
　まで、幅広いモデルをラインナップ（全３５機種）

・低酸素雰囲気での試験が可能なイナートオーブン、
　クラス１００レベルのクリーン環境での可能な
　クリーンオーブンも標準品としてラインナップ

・標準品のオーブンに制御システムを組み込むことで
　安価にモニター―バーンイン装置を提供

用途・分野

用　途
・環境試験（温度サイクル、高温恒湿（８５℃/８５％RH試験にも対応）、バーンイン、パワーサイクル）
・応力緩和／アニール処理（樹脂成型品、樹脂加工品、金属材料）
・硬化（熱硬化性接着剤、熱硬化性樹脂樹脂の硬化）
・ウエハの出荷・搬送

分　野
・民生用半導体
・光学製品（イメージセンサー）
・通信デバイス（セラミック基板、ＣＡＮパッケージ）
・モジュール製品（カメラモジュール、車載センサー）
・樹脂成型品（ＪＥＤＥＣトレイ、筐体部品）

オーブンとは

内蔵したヒーターで庫内に熱風を循環させ、設定した温度を保ちながら熱をかける装置です。
用途により循環経路にＨＥＰＡフィルターを入れたクリーンオーブンや低酸素状態で温度をかけるイナートオーブン、熱と湿度を加える恒温恒湿器等があり、開発から生産まで幅広い領域をカバーしております。
使用温度、対象製品や設置環境に合わせて全３５機種の豊富なラインナップを展開しております。
グループ会社の自社工場で生産を行っている為、カスタムのご要望にも対応可能です。
ＩＣや電子デバイスのバーンインや温度試験用の基板やＩＣソケット、アニールなどで使用する高耐熱トレイ（ＪＥＤＥＣトレイ）も準備可能です。
外部電源、電圧・温度のロガー、オシロスコープ等の周辺機器まで対応させて頂いております。

≪過去のカスタム事例≫
・オーブン庫内にラックを組み込みバーインチャンバーとして納入
・オーブンチャンバーの背面を抜いて計測システムを組み込み信頼性評価装置として納入
・クリーンオーブン背面に熱交換器とチラーを組み込み降温スピードＵＰを向上し生産設備として納入