小型プラズマ装置

プラズマアッシング装置　YSP1000B

同軸電極 石英バレル型チャンバーのプラズマアッシング装置・プラズマクリーナー。パワー半導体、光通信デバイスなどの小径化合物半導体　SiC、GaN、酸化ガリウム等のウエハのレジストアッシングに最適。等方性のプラズマクリーニング装置としても活用可能。同軸電極構造によりウエハへのダメージを軽減。50枚ウエハ一括処理が可能な縦型石英チャンバーの同軸型プラズマアッシング装置もございます。ヤマトマテリアルでは開発から量産までのプロセス用プラズマ装置を販売。お客様のご要望に応じてカスタム対応も承っております。

プラズマクリーナー　小型プラズマ装置 PIPI

低価格で卓上に設置可能なプラズマ装置・プラズマクリーナーPIPI。装置本体の在庫がございます。
小型でも平行平板型電極構造。ステージサイズは130×130ｍｍ。
実験用から小規模生産にもご使用頂いています。
一回り大きい小型プラズマクリーナーPDC210
中型プラズマクリーナーPDC510もございますのでご覧ください。

プラズマクリーナー　PDC210シリーズ

小型プラズマ装置・プラズマクリーナーPDC210シリーズ。
小型で平行平板電極構造のプラズマクリーニング装置です。
異方性、等方性処理が可能な低温プラズマ処理装置。
プラズマモードの切替器はオプションで取付可能。アルゴンと酸素ガス2系統のマスフローコントローラーを標準搭載していますので、プラズマ自動機導入前の小規模生産用にも最適。
チャンバー容積が小さいく高スループット。マニュアル運転と自動運転が可能。
酸化膜のエッチング、レジストのアッシング。ワイヤーボンディング前処理。濡れ性、接着性の改善などに最適です。

プラズマリアクター　小型プラズマ装置PR510(バレル型)

低温プラズマバレルの定番　プラズマリアクターPR510。大学や研究機関での灰化処理用途として最適。操作パネルはタッチパネル式を採用。