プラズマクリーナー 小型プラズマ装置 PIPI

PIPI

概要

低価格で卓上に設置可能なプラズマ装置・プラズマクリーナーPIPI。
小型でも平行平板型電極構造。ステージサイズは130×130mm。
実験用から小規模生産にもご使用頂いています。
一回り大きい小型プラズマクリーナーPDC210
中型プラズマクリーナーPDC510もございますのでご覧ください。

小型プラズマ装置PIPI(ピピ)

プラズマ処理をしてみたい。プラズマ装置は保有しているけれど、処理室の汚染等の懸念から手軽に使えるプラズマ装置が欲しい。
・極力投資金額は抑えたい。
・電極構造は平行平板が理想…
この様なご要望を電子デバイスの開発、研究室、生産技術の方や大学の先生方から頂き、具現化したのが小型卓上プラズマ装置PIPI。
弊社プラズマ装置のナインナップの中で一番小型で低価格なプラズマ処理装置です。
電子レンジの様なコンパクトサイズで装置重量は50kgです。

pipiとPDCのチャンバーサイズの比較
PIPI(左)とPDCシリーズ(右)のサイズ比較
(現在の塗装色は白に変わっています。)

本装置の特徴

  • 性能はそのままに機能を絞った平行平板構造のプラズマ装置です。
  • 減圧プラズマの処理効果の確認や実験などに最適。
  • 小さなチャンバー容積に高周波出力 最大200Wと上位機種と比べ同等以上の処理能力(当社比)。

装置仕様概要

  • プラズマモード RIE限定
  • 電極サイズ 130mm×130mm
  • 電極間距離 80mm
  • プロセスガス導入口 1系統
  • プロセスガス流量計 フォローメーター(アルゴン用) 1機
  • 真空計 ブルトン管圧力計
  • 高周波出力調整 ツマミによるマニュアル設定(最大200W)
  • レシピ登録機能、ステップ処理機能はございません。

用途・分野

  • 有機物質の物理的除去
  • 金属酸化物の除去(エッチング)
  • 接着効果の改善<br>・樹脂/フィルムの表面改質
  • 濡れ性の改善<br></p>

スペック表

プラズマモード RIE
高周波出力(Max) 200W
ステージ寸法 幅130×奥行130mm
反応ガス アルゴン(1系統)
反応ガス流量計 フローメータ(アルゴン用)
真空ポンプ 別途ご用意いたします。
パージガス N2又はドライエアー
外形寸法 幅438×奥行520×高さ565mm

Q&A プラズマ装置 Q&A

Q.プラズマ装置を探しています。
A.プラズマクリーニング装置からエッチング装置やアッシング装置まで幅広く扱っております。WEBに掲載している製品はあくまでも一例です。ご要望の対象ワークや用途に合わせて、カスタマイズいたしますのでお気軽にご相談ください。
Q.プラズマ装置を購入したいのですが、代理店はありますか?
A.特にございません。ご指定があれば柔軟に対応いたします。
Q.プラズマ装置はいつから販売してますか?
A.1998年から半導体組立工程の用途として販売しております。
Q.デモは行えますか?
A.はい。随時受け付けておりますので、お気軽にご相談ください。
Q.デモ機はどの様なものがありますか?
A.平行平板電極 ステージサイズ 130×130(PIPI)、250×170(PDC210)、410×210(PDC510)、300×300、600×600、φ200㎜石英チャンバー 6インチ、8インチウエハ用(縦型石英チャンバー)をご準備しております。
Q.デモの場所はどこですか?
A.装置により異なります。東京都内、東京都青梅市、大気圧は南アルプス市か新大阪です。
Q.デモ機はどの様なものがありますか?
A.平行平板電極 ステージサイズ 130×130(PIPI)、250×170(PDC210)、410×210(PDC510)、300×300、600×600、φ200㎜石英チャンバー 6インチ、8インチウエハ用(縦型石英チャンバー)をご準備しております。
Q.デモ機の高周波出力は何ワットまでですか?<
A.チャンバーサイズ別に異なりますので、お問い合わせください。
Q.プロセスガスは何を持っていますか?<
A.アルゴン、酸素、CF4、アルゴン水素をご用意しております。
Q.カタログに載っている装置だけですか?<
A.お客様のご要望に合わせたカスタム装置も得意としております。
Q.プラズマの処理効果を確認する手段はありますか?<
A.濡れ性を確認する接触角計と膜厚計をご用意しております。
Q.設備導入時に高周波利用申請の届け出は必要でしょうか?
A.申請は必要です。申請書類をご準備いたしますので、管轄の総合通信局へご提出ください。
Q.自動機は掲載されているだけですか?<
A.標準機として掲載しております。ご希望に合わせた数々のカスタム装置を設計製造致します。
Q.チャンバーを温調したいのですが、可能ですか?<
A.ラバーヒーターでの温調やチラーによるステージ温調も可能です。
Q.ウエハアッシング装置を更新したいのですが?<
A.手動タイプの横型の石英チャンバー同軸タイプと縦型石英チャンバーの自動機がございます。標準は6、8インチ用です。
Q.枚葉式の装置は扱っていますか?<
A.6、8、12インチ用が標準になります。大気搬送ロボット、ロードロック方式をお選びいただけます。レジストのアッシングやポリイミドのスカム処理などでご利用いただいております。
Q.打合せは可能ですか?<
A.可能です。東日本は本社(東京)、中京、関西、四国、中国地区は大阪支店、九州地区は九州営業所(福岡)からお伺いさせて頂きます。