ダイシング・バックグラインド受託加工

概要

ダイシング受託やバックグラインドの受託加工。SiウエハはもとよりSiCやGaNなどの化合物半導体や5Gなどで需要が増えているセラミック基板、イメージセンサー用のカバーガラスのダイシング・バックグラインドも行います。
開発時の小Lot試作、工程オーバーフロー時の外部委託はもちろん、破損ウエハの救済にも対応可能です。その他、成膜やウエハ洗浄等のご相談にも対応致します。

特徴

ICチップをより小さく切断・薄く 高精度で加工します
・SiCウエハのノッチ、エッジ面取り
シリコンウエハだけではなく、光学ガラス・セラミック・SiCなどにも対応
ICチップ単体〜300mmウエハまで対応可能

用途・分野

用 途
チップ開発時のダイシング、バックグラインド(BG)、CMP加工
チップトレイへの詰め替え作業
口径違いのリングへの貼替作業
割れたウエハの救済ダイシング

分 野
民生用半導体(Si、セラミック)
車載用化合物半導体(Si、SiC、GaN、酸化ガリウム)
光学製品(イメージセンサー用カバーガラス、サファイア基板)
通信デバイス(5G向けセラミック基板)

シリコンウエハ、ガラス、サファイヤ、セラミックス、化合物半導体まで『削る』、『切る』の技術で試作から量産までサポートさせて頂きます。
開発時の小Lot試作、工程オーバーフロー時の外部委託はもちろん、破損ウエハの救済にも対応可能です。その他、成膜やウエハ洗浄等のご相談にも対応致します。

受託加工内容

項 目   できること  
対応サイズ
チップ単体から12インチウエハ
角型サイズ
210mm角以内
切断加工
・フルカット
・ステップカット
・溝入れ
・サイズダウン
・穴あけ
・丸加工
・多角形
成膜加工
・CVD
・PVD
・蒸着よる各種膜付(SiO2/SiN/Ti/Cu/Cr/Ni/Al / Ag/Au ... etc.)
・パターニング
・フォトリソ
・エッチング
・バンピング
ウエハ検査
抵抗値、導電型、厚み、面方位、オリフラ方位、ソリ検査、面粗度測定、 パーティクル検査
精密洗浄
・RCA洗浄
・DHF洗浄
・その他各種洗浄

研削研磨
SiC ウエハのノッチ加工も可能

・バックグラインディング(#360~8000)
・DBG(ハーフカット→BG)
・ エッジ研磨(ベベル・ノッチ・オリフラ)
CMP加工
Si、SiC等の薄化・鏡面化、各種材料表面の平坦化
・ケミカルポリッシング
・ウエットポリッシング
・ドライポリッシング 
ダイシング 微小チップ対応
・ブレードダイシング
・ステルスダイシング
・スクライブ&ブレイク加工
・ TAIKOウエハのリブカット
・割れたウエハの救済ダイシング
ウエハのサイズダウン
・12インチから8インチ
・8インチから6インチ、さらに小さなサイズへの リサイズ加工
その他
・TSV / TGV
・ダイシング後のシリコンチップや光学フィルター等のダイシングリングからトレイへの詰め替え
・口径違いのダイシングリングの貼替え
・受け入れトレイから工程内トレイ、出荷トレイへの詰め替えもお請け可能です

Q&A よくあるご質問

Q.最小何枚から対応が可能ですか?
A.ウエハ1枚、破片1個からでも対応可能です。
Q.依頼物の発送はどのようにしたらよいですか?
A.ウケハケースやリングに貼った状態でお送り下さい。
ダイシング後にチップトレイに詰め変える必要がある場合は合わせて支給下さい。
Q.チップトレイ等の梱包材の準備をお願いする事は可能ですか?
A.可能です。弊社HPにある一般品(MOQは100枚)やリストにない製品場合はカスタムで製作も可能です。
Q.特殊な材料にも対応可能ですか?
A.確認が必要になりますが加工条件が見つかれば対応させて頂きます。
ステルスダイシング(レーザー加工)等も対応が可能です。
Q.打合せは可能ですか?
A.可能です。
東日本は本社(東京)、中京、関西、四国、中国地区は大阪支店、九州地区は九州営業所(福岡)からお伺いさせて頂きます。
その他、ご質問等ございましたら、お気軽にお問い合わせください。