概要
・6・8・12インチウエハ用のサイズをラインナップ
・材質はSUS,Al(アルミ)、樹脂
・量産用の大ロットはもちろん 小ロットでも提供可能
・ダイシングテープが節約できるエコリングも有り
・レーザーマーキングによるバーコードや
ロット番号、QRコードなどの印字も可能
用途・分野
用 途
・ダイシング工程、バックグラインド工程、カットした製品の保管、出荷用
分 野
・半導体ウエハ(Si、SiC、GaN、酸化ガリウム等)、セラミックス、光学ガラス、サポートガラスなどのダイシング工程
ウエハリングとは
ウエハのダイシング時にウエハを固定するためのリング状の治具です。
そのため、「ダイシングリング」・「ダイシングフレーム」とも呼ばれます。
また、リングにダイシングテープを貼り付けて用いることから「テープリング」とも呼ばれます。
当社ではダイシングテープの使用量を減らすことが出来るエコリングも扱っています。
他方、ウエハリングはダイシング後のウエハやチップ部品などを貼り替えて国内外への輸送用にも利用されています。
ウエアリングの軽量化は輸送費削減やオペレーターの作業環境の改善にもつながります。
一般的なダイシングリングはSUS製ですが、SUS製より軽いAL(アルミ)や樹脂製もございます。
8インチウエハ用ダイシングリング25枚、12インチウエハ用ダイシングリング13枚でのAL(アルミ)製とSUS製での重量比較です。
軽いダイシングリングの方がオペレーターの負担軽減、輸送費の削減効果にも期待
仕 様
イニシャル不要の安価なウエハリング(ダイシングリング)規格品を各サイズ 6・8・12インチウエハ用に提供しております。
MDSシリーズ
ウエハのダイシングからウエハの搬送まであらゆるシーンで使用頂けます。
一部の商品は在庫がございますのでお問い合わせください。
MDSシリーズ製品仕様表
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6インチ |
8インチ |
12インチ |
| サイズ(mm) |
W212*D212 |
W276*D276 |
W380*D380 |
| 厚み(mm) |
1.2 |
1.5 |
| 材 質 |
SUS420J2 |
| 表面処理 |
無電解ニッケルめっき |
| 硬 度 |
HRC47以上 |
MPシリーズ
ウエハの搬送専用ですが、ウエハのダイシングに使用している実績がございます。
MPシリーズ製品仕様表
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6インチ |
8インチ |
12インチ |
| サイズ(mm) |
W212*D212 |
W276*D276 |
W380*D380 |
| 厚み(mm) |
1.2 |
1.5 |
| 材 質 |
SUS430 |
| 表面処理 |
無し |
| 硬 度 |
HV150(参考値) |
※オプションにてレーザーマーキングによるバーコードやLot番号、QRコード等の印字も承っております。
エコウエハリング
ダイシングテープの使用量を減らせるエコウエハリングも製作しております。
お客様の御要望にそった形で製作をさせて頂きます。
エコリング
参考図面
| MDS 6インチ |
MDS 8インチ |
MDS 12インチ |
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