概要

・６・８・１２インチウエハ用のサイズをラインナップ
・量産用の大ロットはもちろん　小ロットでも提供可能
・ダイシングテープが節約できるエコリングも有り
・レーザーマーキングによるバーコードや
　ロット番号、QRコードなどの印字も可能

用途・分野

用　途
・ウエハ（Ｓi、ＳiＣ、ＧaＮ、酸化ガリウム等）のダイシング工程で使用する治工具

分　野
・各種ウエハ（Ｓi、ＳiＣ、ＧaＮ、酸化ガリウム等）

ウエハリングとは

ウエハのダイシング時にウエハを固定するためのリング状の冶具です。
そのため、「ダイシングリング」・「ダイシングフレーム」とも呼ばれます。
また、リングにダイシングテープを貼り付けて用いることから「テープリング」とも呼ばれます。
当社ではダイシングテープの使用量を減らすことが出来るエコリングも扱っているほか、
軽量・低コストな樹脂ウエハリングも取り扱っております。
樹脂ウエハリングは国内外のウエハ出荷・搬送用途に用いられています。

仕　様

イニシャル不要の安価なウエハリング（ダイシングリング）規格品を各サイズ ６・８・１２インチウエハ用に提供しております。

ＭＤSシリーズ
ウエハのダイシングからウエハの搬送まであらゆるシーンで使用頂けます。
一部の商品は在庫がございますのでお問い合わせください。

製品仕様表

ＭＰシリーズ
ウエハの搬送専用ですが、ウエハのダイシングに使用している実績がございます。

製品仕様表

※オプションにてレーザーマーキングによるバーコードやLot番号、QRコード等の印字も承っております。

エコウエハリング

ダイシングテープの使用量を減らせるエコウエハリングも製作しております。
お客様の御要望にそった形で製作をさせて頂きます。

参考図面