概要
耐薬品性に優れたフッ素樹脂の特性を生かして、エッチングや薬液洗浄など半導体の生産プロセス用途で多数の実績があります。
お客様のご要望に合わせて設計を行い、切削で1個から金型での量産も対応しております。
特徴
・耐薬品性に優れたフッ素樹脂
・耐熱性、電気特性(絶縁)にも優れています
・エッチングや薬品洗浄用に最適です
・摩擦係数が非常に低く、低発塵性にも優れています
・収納物にダメージを与え難い
■ご使用用途に合わせたデザイン提案を行い最適な製品を製作いたします。
用途・分野
用 途
・イメージセンサー用カバーガラス、レンズ製品等の洗浄
・水晶、化合物ウエハのエッチング、洗浄
・各種基板の洗浄や保管
分 野
・光学製品(カバーガラス、マイクロレンズ、レーザー用ステム)
・水晶製品(水晶振動子、発振子、SAWフィルター)
・電子、化学、機械分野での研究、製造ラインなど
フッ素樹脂とは
フッ素樹脂は、耐薬品性、耐熱性、滑り性、絶縁性、非粘着性、低摩擦性に優れた材料です。
反面、有毒ガスが発生するため排ガス処理設備が必要な為、成型が難しい材料です。
弊社では処理設備を備えた工場で成型を行っております。
また、フッ素樹脂は様々な種類がありますが下記材料は対応可能です。
切削加工も対応していますので少量でもお届け可能です。
お客様の使い勝手を考慮したデザイン、材料をご提案させて頂きます。
PTFE
高い耐熱性を持ち、固体の中で最も少ない摩擦係数を持っており、自己潤滑性に優れています。
また、他の物質と化学反応を起こさないため、すべての溶剤に溶解しません。
PFA
PTFEと同等の特性を持ち、素材から切削加工しかできないPTFEと異なり、複雑な形状でも溶融成形が可能です。
ETFE
PFA同様に熱可塑性を持ったフッ素樹脂で、PTFE、PFAに匹敵する耐薬品性、絶縁性、低摩擦性を持っています。
使い勝手を考慮したモノ作り
市販のテフロン製キャリア、マガジン、ラックなど使い勝手でお困りの事はありませんか?
弊社では使い勝手に合わせたデザイン提案を行い最適な製品を金型から製作可能です。
≪改善事例≫
ウエハ間の貼りつき防止 ➤キャリア底面に櫛歯形状のリブを追加
液抜け改善 ➤フラット部を全てテーパー形状へ
ウエハ受け部の形状変更 ➤ウエハに合わせた丸形状に変更