ウエハケース・ウエハカセット

概要

・ウエハリング付き・平置き段積み・一枚用など様々なケース形状を小ロットから提供
・ウエハケース用のクッション・セパレータも取扱い
・ケースの洗浄も対応

用途・分野

用　途
・ウエハ（Ｓi、ＳiＣ、ＧaＮ、酸化ガリウム等）の保管・出荷
・ウエハ（Ｓi、ＳiＣ、ＧaＮ、酸化ガリウム等）の工程内搬送

分　野
・各種ウエハ（Ｓi、ＳiＣ、ＧaＮ、酸化ガリウム等）

ウエハケース・ウエハカセットとは

半導体の基盤となる緻密で繊細なウエハを安全に輸送・保管するためのケースで、ウエハケースやウエハシッパーと呼ばれます。
当社では、出荷形態に応じウエハ単体ケース・ウエハリング付きケースを提供しており、それぞれ１枚用・複数枚用(平置き・縦置き)と幅広いラインナップがございます。
また、工程内用途のウエハカセットも取扱っております。

ウェハケース(ウエハシッパー)
・ ウエハ単体収納ケース
　１枚用・平置き(２・３・４・５・６・８・１２インチウエハ用)

・ウエハリング（ダイシングフレーム）収納ケース
　１枚用・縦置き・平置き(２・３・４・５・６・８・１２インチウエハ用)