12インチウエハ（300ｍｍウエハ）用プラズマ装置
概要
枚葉式12インチウエハ（300mmウエハ）用のライトエッチング/アッシング用装置です。
裏面研削後の薄化されたウエハやタイコウ(TAIKO)ウエハの安定した搬送が可能です。
・ロードポート 2機。
・大気搬送シングルアーム（エッジグリップ）でFOUPとプラズマ処理室との安定した搬送。
・ステージ温調用チラー、5,000L／min ドライポンプを付帯。
プラズマモード（RIE/DP)や反応ガス種、搬送方式（大気搬送／ロードロック）など、ご要望に合わせて個別に設計対応を致します。
主な用途
・ウエハ表面のレジスト剥離
・保護膜エッチング後のデスカム処理
・電極のクリーニング
・ウエハメッキやコーティングの前処理
標準機スペック
| 型式 |
ＹＳＰ３００ |
| プラズマメカニズム |
平行平板プラズマ励起 / 13.56MHz |
| プラズマモード |
RIEモード |
| 高周波出力 |
最大1,000Ｗ |
| チャンバーおよびステージ |
12インチウエハ（300ｍｍウエハ）対応 |
| ウエハ搬送方式 |
大気搬送 / シングルアーム ( エッジグリップ) |
| ロードポート |
2機 / 300ｍｍ Foup / SEMI Standard |
| 温度制御 |
常温～80℃ ヒーター / チラー |
| 反応ガス |
酸 素 |
| ガス導入口 |
反応ガス2個 パージ1個 |
| 反応ガス流量制御 |
マスフローコントローラー |
| 真空ポンプ |
ドライポンプ 5,000L/min |
| 装置本体サイズ |
幅1,080×奥行2,400×高さ2,000ｍｍ(シグナル・ポンプチラー除く) |
| 付帯機能 |
EPD(波形モニタ) / IDリーダー / PLC上位リンク対応 / 各種安全機構 |
Q&A
プラズマ装置Q&A
- Q.プラズマ装置を探しています。
- A.プラズマクリーニング装置からエッチング装置やアッシング装置まで幅広く扱っております。WEBに掲載している製品はあくまでも一例です。ご要望の対象ワークや用途に合わせて、カスタマイズいたしますのでお気軽にご相談ください。
- Q.プラズマ装置を購入したいのですが、代理店はありますか？<
- A.特にございません。ご指定があれば柔軟に対応いたします。
- Q.プラズマ装置はいつから販売してますか？
- A.1998年から半導体組立工程の用途として販売しております。
- Q.デモは行えますか？
- A.はい。随時受け付けておりますので、お気軽にご相談ください。
- Q.デモ機はどの様なものがありますか？
- A.平行平板電極 ステージサイズ 130×130（PIPI）、250×170（PDC210）、410×210（PDC510）、300×300、600×600、φ200㎜石英チャンバー 6インチ、8インチウエハ用（縦型石英チャンバー）をご準備しております。
- Q.デモの場所はどこですか？
- A.装置により異なります。東京都内、東京都青梅市、大気圧は南アルプス市か新大阪です。
- Q.デモ機はどの様なものがありますか？
- A.平行平板電極 ステージサイズ 130×130（PIPI）、250×170（PDC210）、410×210（PDC510）、300×300、600×600、φ200㎜石英チャンバー 6インチ、8インチウエハ用（縦型石英チャンバー）をご準備しております。
- Q.デモ機の高周波出力は何ワットまでですか？<
- A.チャンバーサイズ別に異なりますので、お問い合わせください。
- Q.プロセスガスは何を持っていますか？<
- A.アルゴン、酸素、CF４、アルゴン水素をご用意しております。
- Q.カタログに載っている装置だけですか？<
- A.お客様のご要望に合わせたカスタム装置も得意としております。
- Q.プラズマの処理効果を確認する手段はありますか？<
- A.濡れ性を確認する接触角計と膜厚計をご用意しております。
- Q.設備導入時に高周波利用申請の届け出は必要でしょうか？<
- A.申請は必要です。申請書類をご準備いたしますので、管轄の総合通信局へご提出ください。
- Q.自動機は掲載されているだけですか？<
- A.標準機として掲載しております。ご希望に合わせた数々のカスタム装置を設計製造致します。
- Q.チャンバーを温調したいのですが、可能ですか？<
- A.ラバーヒーターでの温調やチラーによるステージ温調も可能です。
- Q.ウエハアッシング装置を更新したいのですが？<
- A.手動タイプの横型の石英チャンバー同軸タイプと縦型石英チャンバーの自動機がございます。標準は６、８インチ用です。
- Q.枚葉式の装置は扱っていますか？<
- A.６、８、１２インチ用が標準になります。大気搬送ロボット、ロードロック方式をお選びいただけます。レジストのアッシングやポリイミドのスカム処理などでご利用いただいております。
- Q.打合せは可能ですか？<
- A.可能です。東日本は本社（東京）、中京、関西、四国、中国地区は大阪支店、九州地区は九州営業所（福岡）からお伺いさせて頂きます。
