A F M (原子間力顕微鏡 )
概要
AFM 原子間力顕微鏡。AFMパークシステムズ。研究用・生産ライン用・バイオ、ケミカル用に幅広くラインナップ。完全非接触。マイクロレンズアレイ計測。生産ライン用ウエハ搬送機構。自動欠陥検査と表面粗さ計測用最先端AFM。自動欠陥検査機能を備えた原子間力プロファイラー。
世界で唯一の非接触AFM
パーク・システムズ社製AFMは、完全非接触モードTMを有する唯一の顕微鏡でサンプルの表面を傷つけることなく測定を繰り返すことが可能です。
完全非接触モードTMはピエゾモジュレーターがカンチレバーを小さな振幅でカンチレバーの固有共振周波数付近で振動させます。チップがサンプルに近づくと引力がチップとサンプルの間に働き、カンチレバーの振動振幅と位相に影響を及ぼします。これらの増幅と位相の変化がZサーボフィードバックシステム（特許）によりモニターされています。これにより、サンプル表面やチップを損傷することなく、チップとサンプル間の距離を数ナノメートルに保つことが可能です。
利 点
・チップの損傷を低減し、高分解能スキャンを長く維持できる。
・非破壊のチップとサンプルの相互作用により、サンプルの損傷を低減できる。
・測定結果のパラメーターへの依存性を小さくすることができる。
汎用AFM群
汎用の研究、産業用を目的として、一連の知名度と高いAFMを提供しています。
非常に多目的で高品質な作業に必要とされる正確性と機能性を備えており、研究者や技術者が高いレベルの正確な測定結果を迅速かつ用意に得ることを可能としています。
応用分野
・材料 ・電気 電子 ・ライフサイエンス
・故障解析 ・半導体 ・ハードディスクメディア分析
企業用AFM群
リサーチ向けAFMだけでなく企業用AFMでも優れた製品を提供しています。それにより故障解析のエンジニアや企業向けアプリケーションの様にさまざまな最有益なAFM群を提供してきました。
高精度計測、作業の高速化により効率が高くエラーの少ない仕事環境により利潤の高い安定した開発と製造工程を実現しまし
応用分野
・故障解析 ・半導体
・ハードディスクメディア分析
スペック表
| 機種名 | 特 徴 |
|---|---|
| Park NX10 | 世界で最も正確で操作が容易な研究用AFM |
| Park XE7 | 費用対効果の優れた本格的な研究用AFM |
| Park XE15 | 高い能力、汎用性、最適価格 大型試料用AFM |
| Park NX20 300㎜ | 故障解析、品質保証及び品質管理の為のAFM |
| Park NX10 SICM | 液体環境用における最先端ナノスケールイメージング |
| Park NX-HDM | 自動欠陥検査と表面粗さ計測用最先端AFM |
| Park NX-Wsfer | 自動欠陥検査機能を備えた原子間力プロファイラー |
| Park NX-３DM | 高アスペクト比フォトレジストの粗さ計測、オーバーハング、クリティカルアングルの計測 |
Q&A よくあるご質問
- Q.デモは可能ですか？
- A.日本国内にデモルームがございます。
- Q.オプションはありますか？
- A.幅広い研究や産業用の環境に適合するようにモジュール化されたオプションを多数ご用意しておりますので、個別のニーズによりカスタマイズすることが可能です。
- Q.納期はどの程度かかりますか?
- A.４〜５ヶ月程度かかります。
（コロナ影響による部材入手状況等により変動致します）
- Q.どの様なオプションですか？
- A.低ノイズ音響用エンクロージャー、スキャナ、ヘッドその他ございます。
- Q.Zスキャナヘッドにはどの様な種類がありますか？
- A.標準NX AFM、標準XE AFM、長距離用NX AFM、長距離（25μｍ）用XE AFM、XEオプティカルヘッド、ハイジトロントライボスコープアダプタヘッドがございます。
- Q.XYスキャナにはどの様な種類がありますか？
- A.10μｍ×10μｍXYスキャナ、50μｍ×50μｍXYスキャナ、100μｍ×100μｍXYスキャナがございます。
- Q.液中セルはありますか？
- A.ユニバーサル液中セル、電気化学セル、オープン液中セルがございます。
- Q.外部環境の影響を受けたくないのですが？
- A.湿度、酸素濃度を制御した環境チャンバー、外部ノイズを遮断するアコースティックエンクロージャーをご用意しております。
- Q.他にカスタマイズできるアクセサリはないですか？
- A.AFMで得られた入出力シグナルにアクセスできるシグナル・アクセス・モジュール、真空チャック（標準２、４、６インチ カスタムも可能）、 非磁性試料ホルダ、磁場発生装置、外部高電圧キット、チップキャリアなどをご用意しております。
