大電流・狭ピッチ検査治具

概要

タングステン等のワイヤープローブを用いた検査治具で、
車載電子部品(IGBT、MOSFET、ダイオード)、パワーデバイス用チップ（Si、SiC 、GaN)等の
大電流検査やプローブカード検査、４端子(ケルビン)測定等に最適です。
最小ピッチ４０μmでワイヤープローブを並べることが可能。

特徴

• ・タングステン等のワイヤープローブを用いた検査治具

• ・狭ピッチ設定可能で、最小ピッチ４０μmを実現

• ・多ピン設定も可能なため、接触抵抗の分散ができ、
  　信頼性も向上
  　弊社実績：パワーデバイス検査用３,０００ｐ i ｎ
  　　　　　　プローブカード検査用１０,０００ｐ i ｎ

• ・大電流にも対応可能
  　弊社実績：３,０００Ａ (Ｐｕ l ｓｅｄ)
  　　　　　　１,０００Ａ (ＤＣ)
  　　　　　　５,０００Ｖ
  ・シンプル構造で耐久性、メンテナンス性も向上

用途・分野

用　途
・ＩＧＢＴ、ＭＯＳＦＥＴ、Ｄ i ｏｄｅなど大電流の検査
・４端子(ケルビン)測定
・多数ＤＵＴ同時測定からウエハーの一括測定
・パワーデバイスの耐熱試験(３００℃)
・プリント基板のオープン・ショートの検査
・ＨＡＳＴ試験

分　野
・車載電子部品(ＩＧＢＴ、ダイオード、ＦＲＤ、ＭＯＳＦＥＴ)
・パワーデバイス用チップ（Ｓ i 、Ｓ i C 、GａN、酸化ガリウム等）
・サブストレート、プリント基板

ワイヤープローブとは

ワイヤープローブはタングステンなどの極細線に特殊メッキ及び絶縁コーティングを施したもので、ワイヤーが縦方向に押されるときに発生する「たわみ」をコンタクト加重に利用しています。ワイヤーの太さは１１０μｍから２２μｍまであり、プローブ自体はもちろん各種検査ヘッドに用いた場合でも構造がシンプルなため、
耐久性、メンテナンス性に非常に優れています。

基本構造は性能、精度、耐久性、メンテナンス性、コストパフォーマンスを極限まで追求したシンプル構造です。
作業者もその場で簡単にピン交換を行えます。
また、電極配線の先にはコネクタ接続処理等を行って出荷致しますので、あらゆるテスターや検査装置へ接続する事ができます。

ワイヤープローブの仕様一覧

ワイヤープローブの先端一覧

各サイズのプローブにはそれぞれ、半円形状、ニードル形状、フラット形状の３種類のプローブ先端形状があります。
被検査物の特性・形状や、検査用途によって自在に選択することが出来ます。