大電流・狭ピッチ検査治具

概要

検査治具用のピンにタングステン等のワイヤープローブを用いた検査治具で、車載電子部品(IGBT、MOSFET、ダイオード)、パワーデバイス チップ（Si、SiC 、GaN)等の大電流検査やプローブカード検査、４端子(ケルビン)測定等に最適です。
最小ピッチ40μmでワイヤープローブを並べることが可能。

特徴

・検査治具用のピンにタングステン等のワイヤープローブを用いたコンタクトプローブ治具
・挟ピッチ　コンタクトプローブは最小ピッチ40μｍを実現
・多ピン設定も可能な為、接触抵抗の分散ができ、信頼性も向上
　コンタクトプローブ治具の実績
　弊社実績：パワーデバイスチップ検査用3000 pin
　　　　　　プローブカード検査用10,000 pin
・パワーデバイスのチップ検査などの大電流にも対応可能
　弊社実績：3,000A (Pulsed)
　　　　　　1,000A (DC)
　　　　　　5,000V
・シンプルな構造で耐久性、コンタクトプローブのメンテナンス性も向上
・測定チップの加温（ヒーター）や冷却（ペルチェ）機構の提案も可能です

用途・分野

用　途
コンタクトプローブ治具
・IGBT検査、MOSFET検査、Diode検査など大電流検査
・4端子（ケルビン）測定
・多数DUT同時測定やウエハの一括測定も可能
・パワーデバイスの耐熱試験（Max 300℃）
・プリント基板のオープン/ショートの検査用
・HAST試験

分　野
・車載電子部品(IGBT,ダイオード,FRD,MOSFET)
・Si,SiC,GaN,酸化ガリウム等のパワー半導体検査
・サブストレート、プリント基板の導通検査

ワイヤープローブとは

ワイヤープローブはタングステンなどの極細線に特殊メッキ及び絶縁コーティングを施したもので、ワイヤーが縦方向に押されるときに発生する「たわみ」をコンタクト加重に利用しています。ワイヤープローブの太さは110μｍから22μｍまであり、プローブ本体はもちろん、各種検査のヘッドに用いた場合でも構造がシンプルなため、コンタクトプローブピンの耐久性、プローブ治具のメンテナンス性に非常に優れています。

基本構造は、性能、精度、耐久性、メンテナンス性、コストパフォーマンスを極限まで追求したシンプル構造です。
作業者もその場で簡単にコンタクトプローブピンの交換も可能。
また、電極配線の先にはコネクタ接続処理等を行って出荷致しますので、あらゆるテスターや検査装置へ接続する事ができます。

ワイヤープローブの仕様一覧

ワイヤープローブの先端一覧

各サイズのコンタクトプローブにはそれぞれ、半円形状、ニードル形状、フラット形状の３種類のプローブ先端形状があります。
被検査物の特性・形状や、検査用途によって選択することが出来ます。