プラズマクリーナー PDC210シリーズ

PDC210シリーズ

概要

小型プラズマ装置・プラズマクリーナーPDC210シリーズ。
小型で平行平板電極構造のプラズマクリーニング装置です。
異方性、等方性処理が可能な低温プラズマ処理装置。
プラズマモードの切替器はオプションで取付可能。アルゴンと酸素ガス2系統のマスフローコントローラーを標準搭載していますので、プラズマ自動機導入前の小規模生産用にも最適。
チャンバー容積が小さいく高スループット。マニュアル運転と自動運転が可能。
酸化膜のエッチング、レジストのアッシング。ワイヤーボンディング前処理。濡れ性、接着性の改善などに最適です。

小型プラズマ装置PDC210

平行平板型 小型プラズマ装置の先駆けPDCシリーズ。
最大高周波出力が300WのPDC200と500WのPDC210をラインナップ。
アルゴンガスと酸素ガスの2種類の流量計を標準装備しています。
アルゴンプラズマの後に酸素プラズマ処理を行うステップ処理も可能です。
プラズマモードはRIEが標準。
オプションでDPモードの追加可能(切替器)。

本装置の特徴

・卓上型、低コスト、高性能タイプ
・実験用から本格量産まで使用可能
・RIEモード標準(DPモード切替器はオプション)
・アルゴン・酸素の3系統のマスフローメーターを搭載
・標準油回転ポンプ付(ドライポンプ(画像)はオプション)

用途・分野

・サブストレート基板、リードフレームの表面洗浄
・サブストレート基板と封止樹脂との密着性向上
・アンダーフィル材の濡れ性改善
・フォトレジストのアッシング
・金属酸化物のエッチング
・接着効果の改善
・樹脂/フィルムの表面改質
・濡れ性の改善

スペック表

型 式 PDC200/PDC210
プラズマモード RIE(DPオプション)
高周波出力(Max) PDC200:300W PDC210:500W
ステージ寸法 幅250×奥行170mm
チャンバー寸法 幅400×奥行250×高さ170mm
反応ガス 2系統(酸素、アルゴン)
反応ガス流量制御 PDC200:フローメータ
PDC210:マスフローコントローラ
真空ポンプ PDC200:別途ご用意ください
PDC210:ロータリー真空ポンプ(約345L/分)
ガス導入口 反応ガス2個、パージ1個
外形寸法 幅540×奥行600×高さ600mm(突起物含まず)

Q&A よくあるご質問

Q.プラズマ装置を探しています。
A.プラズマクリーニング装置からエッチング装置やアッシング装置まで幅広く扱っております。WEBに掲載している製品はあくまでも一例です。ご要望の対象ワークや用途に合わせて、カスタマイズいたしますのでお気軽にご相談ください。
Q.プラズマ装置を購入したいのですが、代理店はありますか?<
A.特にございません。ご指定があれば柔軟に対応いたします。
Q.プラズマ装置はいつから販売してますか?
A.1998年から半導体組立工程の用途として販売しております。
Q.デモは行えますか?
A.はい。随時受け付けておりますので、お気軽にご相談ください。
Q.デモ機はどの様なものがありますか?
A.平行平板電極 ステージサイズ 130×130(PIPI)、250×170(PDC210)、410×210(PDC510)、300×300、600×600、φ200㎜石英チャンバー 6インチ、8インチウエハ用(縦型石英チャンバー)をご準備しております。
Q.デモの場所はどこですか?
A.装置により異なります。東京都内、東京都青梅市、大気圧は南アルプス市か新大阪です。
Q.デモ機はどの様なものがありますか?
A.平行平板電極 ステージサイズ 130×130(PIPI)、250×170(PDC210)、410×210(PDC510)、300×300、600×600、φ200㎜石英チャンバー 6インチ、8インチウエハ用(縦型石英チャンバー)をご準備しております。
Q.デモ機の高周波出力は何ワットまでですか?<
A.チャンバーサイズ別に異なりますので、お問い合わせください。
Q.プロセスガスは何を持っていますか?<
A.アルゴン、酸素、CF4、アルゴン水素をご用意しております。
Q.カタログに載っている装置だけですか?<
A.お客様のご要望に合わせたカスタム装置も得意としております。
Q.プラズマの処理効果を確認する手段はありますか?<
A.濡れ性を確認する接触角計と膜厚計をご用意しております。
Q.設備導入時に高周波利用申請の届け出は必要でしょうか?
A.申請は必要です。申請書類をご準備いたしますので、管轄の総合通信局へご提出ください。
Q.自動機は掲載されているだけですか?<
A.標準機として掲載しております。ご希望に合わせた数々のカスタム装置を設計製造致します。
Q.チャンバーを温調したいのですが、可能ですか?<
A.ラバーヒーターでの温調やチラーによるステージ温調も可能です。
Q.ウエハアッシング装置を更新したいのですが?<
A.手動タイプの横型の石英チャンバー同軸タイプと縦型石英チャンバーの自動機がございます。標準は6、8インチ用です。
Q.枚葉式の装置は扱っていますか?<
A.6、8、12インチ用が標準になります。大気搬送ロボット、ロードロック方式をお選びいただけます。レジストのアッシングやポリイミドのスカム処理などでご利用いただいております。
Q.打合せは可能ですか?<
A.可能です。東日本は本社(東京)、中京、関西、四国、中国地区は大阪支店、九州地区は九州営業所(福岡)からお伺いさせて頂きます。