精密洗浄受託サービス

概要

ICトレイやウエハケースなど新品やリユース品の洗浄（パーティクル除去）
・クリーンエアーによる乾燥　クリーンポリ袋にて真空脱気梱包
・最大５２０×４３０×３６０mmのサイズまで対応可能です
・短納期・低価格で対応いたします

洗浄受託サービス

半導体製造やウエハ搬送に使用される各種トレイやケース（新品／リユース品）を クリーンルーム内で純水・超純水を用いたクリーン洗浄を短納期対応で提供しております。
・トレイ類：純水中超音波洗浄
・ウエハケース類：超純水中超音波洗浄
※薬品類は使用しません

洗浄対象

各種ＩＣトレイ
・２インチ・３インチ・４インチチップトレイ
・ＪＥＤＥＣトレイ
・ソフトトレイ
・その他
部品用トレイウエハケース
・レチクルケース類
・縦置きウエハケース
・横置きウエハケース
その他
樹脂・金属容器　御相談に応じます(最大サイズ：520×430×360mm)まで洗浄可能

品質検査方法(洗浄後)

・超純水への水中落下パーティクルの測定検査

・マイクロスコープ・拡大鏡での残留粒子検査

・目視による外観検査

洗浄概略フロー