商品ラインアップLINEUP

プラズマ装置とは

プラズマ装置メーカーとして、30年を超えるプラズマ装置の販売実績を持つヤマトマテリルが、
半導体製造で活躍する真空プラズマ装置・大気圧プラズマ装置それぞれのプラズマ発生原理や違いに加え、
ドライクリーナー、エッチング、アッシングなど処理目的に応じたプラズマ装置選定ポイントを解説します。
当社の豊富なプラズマ装置ラインナップも紹介しています。