商品ラインアップLINEUP

薄膜応力測定装置 FLXシリーズ

・レーザーでスピーディーかつ非接触でウエハなど測定対象の応力や反りを測定
・－６５°Cから５００°Cまでの温度環境で測定が可能
・WindowsのOSを用いたソフトウエアで簡単操作
・３インチウエハサイズ(70mm□)から300mmサポートガラス付ウエハサイズまで対応