商品ラインアップLINEUP

枚葉式プラズマクリーナープラズマ装置YSP68W / YSP68WL

ウエハ枚葉式のプラズマ処理装置です。搬送方式は大気搬送ロボット式もしくは、ロードロック式をご提供しております。等方性・異方性のプラズマ処理にご使用頂けます。下部ステージのチラー温調・チャンバー外壁加温は標準。ウエハ面内分布を考慮した構造。APC,EPDはオプションです。

プラズマアッシング装置　YSP1000B

同軸石英バレル型プラズマアッシャー　プラズマクリーナー。パワー半導体、光通信デバイスなどの化合物半導体　SiC、GaN、酸化ガリウム等のウエハのレジストアッシングに最適。等方性プラズマクリーニング装置。同軸構造によりウエハへのダメージを軽減。50枚一括処理が可能な同軸型プラズマアッシング装置もございます。ヤマトマテリアルでは開発から量産までのプロセス用プラズマ装置を販売。お客様のご要望に応じてカスタム対応も承っております。

大気圧プラズマ装置

・真空プロセス不要で材料表面の濡れ性アップ
・小型かつシンプルな装置構成でインライン化が容易
・電子部品向けにチャージアップレスノズルをラインナップ
・低価格かつランニングコストも少ないため導入し易い
・無償デモや装置レンタルも承ります

プラズマクリーナー　小型プラズマ装置 PIPI

低価格で卓上に設置可能なプラズマ装置・プラズマクリーナーPIPI。装置本体の在庫がございます。
小型でも平行平板型電極構造。ステージサイズは130×130ｍｍ。
実験用から小規模生産にもご使用頂いています。
一回り大きい小型プラズマクリーナーPDC210
中型プラズマクリーナーPDC510もございますのでご覧ください。

プラズマクリーナー　PDC210シリーズ

小型プラズマ装置・プラズマクリーナーPDC210シリーズ。
小型で平行平板電極構造のプラズマクリーニング装置です。
異方性、等方性処理が可能な低温プラズマ処理装置。
プラズマモードの切替器はオプションで取付可能。アルゴンと酸素ガス2系統のマスフローコントローラーを標準搭載していますので、プラズマ自動機導入前の小規模生産用にも最適。
チャンバー容積が小さいく高スループット。マニュアル運転と自動運転が可能。
酸化膜のエッチング、レジストのアッシング。ワイヤーボンディング前処理。濡れ性、接着性の改善などに最適です。

プラズマクリーナー　PDC510

中型プラズマ装置　プラズマクリーナーPDC510。平行平板電極構造の中型プラズマクリーニングです。異方性、等方性が利用できる低温プラズマ装置です。標準でモード切替器付きです。酸素ガス・アルゴンガス2系統のマスフローコントローラーを搭載。小径ウエハのレジストのアッシング。金属酸化膜のエッチング。ワイヤーボンディング前処理。濡れ性改善、接着性の改善などに最適です。

プラズマリアクター　小型プラズマ装置PR510(バレル型)

低温プラズマバレルの定番　プラズマリアクターPR510。大学や研究機関での灰化処理用途として最適。操作パネルはタッチパネル式を採用。

大気圧プラズマ装置　AP500

大気圧　常圧プラズマ装置AP500。平行平板型で幅広い面積の処理が可能な大気圧プラズマクリーナー。減圧装置が不要な為、生産ラインへの組込みが容易です。長尺基板、ガラスなどの濡れ性改善。ガラスレンズのコーティング前処理。スポット照射が可能な大気圧　常圧プラズマクリーナーAP4000もございます。接合部分の接着前処理として最適。

プラズマクリーナー　V1000

チャンバーサイズ280×280ｍｍの中型プラズマ装置。
サブストレート基板、リードフレームの表面洗浄、アンダーフィル材の濡れ性改善、フォトレジストのアッシングなどに最適。

チューブ・容器内壁処理

これまで困難だった流路やチューブ、各種容器内壁のプラズマ処理が 対応可能になりました（特許第5785650号）